安裝條件

本設(shè)筐要求在海拔1000m以下，溫度25。。=15。（2,濕度55%Rh=10%Rh下使用。

1、 水：不需要

2、 電：AC220\'50Hz,必須有良好接地

3、 氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帝有寶塔接頭，可自斐改制成為雙卡套接頭）

4、 工作臺(tái)：R\T600mmx600mmx700mm,承重300kg以上

5、 通風(fēng)裝豈：需要

主要特點(diǎn)

1、 雙層殼體結(jié)構(gòu)，爐膛釆用高純氧化鋁纖維。

2、 內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和加熱效率，同時(shí)延長(zhǎng)使用壽命。

3、 PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

4、 設(shè)有過熱和斷偶報(bào)警功能。

5、 已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參教

1、 電源：AC220V 50Hz 60Hz 4KW

2、 剛玉管：060mm X 1000mm，080mm X 1000mm

3、 加熱元件：1600°C級(jí)硅碳棒

4、 熱電偶：S型

5、 工作溫度：高1400C，連續(xù)工作1300°C

6、 控溫精度：±rc

—產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：590mmx 490mm X740mm；重里：150kg

標(biāo)準(zhǔn)反件

1 剛玉（氧化鋁）管

1根

2 氧化鋁管堵

2個(gè)

可迭聲件

1、 PC機(jī)控制軟件及通訊模塊

2、 鉉說式法蘭

3、 波

4、 訪腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)

5、 KF25轉(zhuǎn)接頭

6、 卡套接頭

7、 供氣混氣系統(tǒng)

8、 雙坂旅片真空泵